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高精度復合式影像測量助力ASM先進科技微小尺寸實現高精度檢測

面臨的挑戰:
近年來,隨著大(da)國之(zhi)間競爭激烈(lie),各國在(zai)半(ban)導體行業加大(da)投入研(yan)發(fa),搶占(zhan)市(shi)場(chang)份(fen)額。在(zai)此背景(jing)下(xia),ASM在(zai)半(ban)導體芯片(pian)封裝領域加大(da)研(yan)發(fa),對微(wei)小(xiao)尺(chi)寸(cun)檢測(ce)領域需求提出了苛刻要求,現有檢測(ce)設備精度已無法滿足(zu)。

ASM香(xiang)港公(gong)司決定在香(xiang)港總部(bu)成(cheng)立微(wei)小尺寸(cun)檢測(ce)實驗(yan)室,采用海(hai)克斯康(kang)旗下Optiv品牌的高精度復合式(shi)影像測(ce)量(liang)儀來進(jin)行尺寸(cun)測(ce)量(liang)驗(yan)證,從而提升公(gong)司在研發階段對(dui)微(wei)小尺寸(cun)測(ce)量(liang)的可靠性,助力公(gong)司在行業內形成(cheng)標桿。


來自海克斯康的解決方案:
   前(qian)期驗(yan)證階(jie)段(duan),海(hai)克斯康對客(ke)戶調研產(chan)品進行測(ce)試。首先(xian)使用客(ke)戶深圳工廠的(de)(de)一臺Optiv Advantage 443HA(E1=0.5+L/900μm ;E2=1.0+L/700μm)進行測(ce)試,通過(guo)客(ke)戶現有的(de)(de)這臺設(she)備在成像效(xiao)果和(he)測(ce)量精度上都無(wu)法滿足需(xu)求,客(ke)戶建議我們(men)提供(gong)更高精度設(she)備進行測(ce)試。

   為了(le)(le)解決(jue)客戶難(nan)點,海(hai)克斯(si)(si)康影像團隊資深應用工(gong)程師(shi)和ASM測(ce)量(liang)工(gong)程師(shi)為骨(gu)干共(gong)同參與(yu)測(ce)試攻(gong)關(guan)。海(hai)克斯(si)(si)康負責光(guang)(guang)源和相機改進(jin),并協調更(geng)高(gao)精度(du)測(ce)試設備(bei)。經過使用計量(liang)院一臺更(geng)高(gao)精度(du)Optiv Reference 10103(E1=0.3+L/600μm ;E2=0.6+L/600μm)影像測(ce)量(liang)儀(yi),更(geng)換了(le)(le)更(geng)高(gao)成像效果的鏡頭和光(guang)(guang)源后,先后由(you)工(gong)程師(shi)多次(ci)測(ce)試,最終測(ce)試數據滿足(zu)要求(qiu)。

   海(hai)克(ke)斯(si)康(kang)(kang)工(gong)程師(shi)表示(shi):“更高精度設備不能解(jie)決所(suo)有高標(biao)準尺寸的測量(liang)(liang),還需要更高像素相機,更好的光(guang)源效果(guo)(guo)才能達(da)到測試(shi)效果(guo)(guo),三者缺一不可!”參與測試(shi)的ASM測量(liang)(liang)工(gong)程師(shi)表示(shi):“海(hai)克(ke)斯(si)康(kang)(kang)用最前沿的設備,加(jia)上(shang)對前沿技術的快(kuai)速應用,能在短時(shi)間內促成并測試(shi)到滿(man)意結果(guo)(guo),很欽(qin)佩海(hai)克(ke)斯(si)康(kang)(kang)人的行動力(li),為(wei)以(yi)后的廣(guang)泛合作(zuo)打下了堅實(shi)的基礎!”


解決方案
   通過前期(qi)驗證完成后,海克斯康(kang)影像團隊對設備方(fang)案(an)進行(xing)調整(zheng),推薦(jian)的高精度Optiv Reference 10103(E1=0.3+L/600μm ;E2=0.6+L/600μm)影像測量儀最(zui)終得到ASM香港(gang)資深研(yan)發工程師認(ren)(ren)可,并(bing)確(que)認(ren)(ren)采購此設備。ASM香港(gang)資深研(yan)發工程師表示(shi):“在短時間內完成設備評估,超出了(le)我的預期(qi),我對海克斯康(kang)的設備有(you)了(le)更(geng)高標準(zhun)的認(ren)(ren)知,是可信賴的合作(zuo)伙伴(ban)!


客戶簡介:
    ASMPT于1975年在(zai)香(xiang)港成立,總部位于新加坡,自1989年起在(zai)香(xiang)港聯交所上市。集團是(shi)全(quan)球首個為半導體封裝及(ji)電子產品(pin)生產的(de)所有工(gong)藝步(bu)驟提供(gong)技(ji)術和解決(jue)方案的(de)設備制(zhi)造商(shang),包括從(cong)半導體封裝材料和后段(芯片集成、焊接(jie)、封裝)到SMT 工(gong)藝。全(quan)球并無其他設備供(gong)應商(shang)擁有類似的(de)全(quan)面產品(pin)組(zu)合及(ji)對裝嵌及(ji)SMT程序的(de)廣泛知識及(ji)經(jing)驗。 

    后工序設備業(ye)務生產及(ji)提(ti)供(gong)(gong)半導體(ti)(ti)裝(zhuang)嵌(qian)及(ji)封(feng)裝(zhuang)設備,應用于微電(dian)子,半導體(ti)(ti),光(guang)電(dian)子,及(ji)光(guang)電(dian)市場。其提(ti)供(gong)(gong)多元化產品如固(gu)晶系統(tong),焊線系統(tong),滴膠系統(tong),切筋及(ji)成型系統(tong)及(ji)全(quan)方(fang)(fang)位生產線設備。物(wu)料業(ye)務生產及(ji)提(ti)供(gong)(gong)半導體(ti)(ti)封(feng)裝(zhuang)材料,由引線框架部和(he)模(mo)塑互連基板部構成。 SMT 解(jie)決方(fang)(fang)案業(ye)務負責為 SMT、半導體(ti)(ti)和(he)太陽能市場開發和(he)分銷一(yi)流的 DEK 印刷機(ji),以及(ji)一(yi)流的 SIPLACE SMT 貼(tie)裝(zhuang)解(jie)決方(fang)(fang)案。

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